采用40KHz以上的高频超声波振子，清洗同时不伤害工件表面；
配备循环过滤系统，烘干系统；
整体一体式结构，安装移动快速方便。
适用范围：
适用于125×125、156×156单晶和多晶硅片的清洗。
工艺流程：
上料 → 超声粗洗 → 超声漂洗 → 超声清洗 → 超声漂洗 → 超声漂洗 → 超声漂洗 → 超声漂洗 → 下料
配备循环过滤系统，烘干系统；
整体一体式结构，安装移动快速方便。
适用范围：
适用于125×125、156×156单晶和多晶硅片的清洗。
工艺流程：
上料 → 超声粗洗 → 超声漂洗 → 超声清洗 → 超声漂洗 → 超声漂洗 → 超声漂洗 → 超声漂洗 → 下料